3.1阱trap:用物理或化学的方法来降低气体混合物中蒸汽压力的装置。
3.1.1冷阱 cold trap:通过冷却表面凝结作用工作的阱。
3.1.2吸附阱sorption trap:以吸附方式工作的阱。
3.1.3离子阱ion trap:利用电离方法工作的阱。
3.1.4冷冻升华阱 cryosublimation trap:用间断方式把吸气剂材料升华并沉积到阱的冷却表面上来吸附气体和凝结泵液蒸汽的阱。
3.2挡板baffle:装在蒸汽喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵入口,用以降低泵液返流和返迁移的遮挡装置(也可用冷却方式)。
3.3油分离器oil separator:装在真空泵出口处,用以减少以微滴形式被带走的泵油的装置。通常用于变容真空泵中。
3.4油净化器oil purifier:从泵油中清除污染物的装置。
3.5冷凝器condenser:用以冷凝混合气流中水蒸汽的装置。
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